罗茨式真空泵工作原理与特点
发表时间:2013-10-30 09:08:11
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罗茨式真空泵工作原理 靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。 罗茨式真空泵特点 罗茨真空泵的特点是:启动快,耗功少,运转维护费用低,抽速大、效率高,对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感,在100~1帕压力范围内有较大抽气速率,能迅速排除突然放出的气体。这个压力范围恰好处于油封式机械真空泵与扩散泵之间。因此,它常被串联在扩散泵与油封式机械真空泵之间,用来提高中间压力范围的抽气量。这时它又称为机械增压泵。 |